东方晶源上新良率优化系统PME，打造半导体智能制造新数据引擎

东方晶源智能良率优化系统PME(Process Margin Explorer)已在客户现场完成部署，负责步入居品考证与评估阶段。四肢继ODAS(CD-SEM智能离线数据系统)、YieldBook(空洞良率料理系统)之后践行HPO(Holistic Process  Optimization)理念落地的又一力作，PME深度融入东方晶源"设立-数据-算法"三位一体、软硬协同的良率培植料理决议，成为撬动半导体先进制程良率瓶颈的计策器具之一。

PME居品聚焦以下三大中枢功能：

基于想象疆土的检测区域采纳与优化；

整合想象疆土信息的检测戒指智能采样与颓势自动分类；

PWQ Wafer检测数据快速倡导与论述一键生成。

与此同期，PME居品还配套弘远的底层Pattern Match和Pattern Grouping引擎，大约高效地进行疆土分析与处理任务。

基于想象疆土的检测区域采纳与优化

PME是邻接芯片想象数据与芯片制造过程颓势数据的要津器具。它使得Fab用户不错依据想象疆土信息配置晶圆检测程式，结巴传统检测程式对陶冶参数的依赖，PME将想象疆土滚动为"数字卫星导航舆图"，用户不错依据想象疆土指定、采纳、优化我方的检测程式，使检测区域配置成果兑现质的飞跃，权贵培植检测成果和检测精度。

    

整合想象疆土信息的检测戒指智能采样与颓势自动分类

芯片制造颓势检测中，由于要津颓势在举座颓势中的占比低于3%，在海量误检数据中精确定位要津颓势的难度极高，这也径直导致了复检资本永恒居高不下。在以往的复检取样技艺，主要依赖工程师个东说念主陶冶与机台保举算法，这种景况较难复制与调处。而在导入想象疆土信息后，基于想象疆土的过滤与取样算法，容易兑现固定且步调的取样法例，取得调处的取样戒指，何况可左证实质需求纯真增设新的取样法例，确实兑现智能化取样操作。此外，想象疆土信息还大约深度运用于复检颓势的分类使命，极地面拓展了复检颓势分类的维度与信息容量，为工艺调优提供高维决策撑捏。

PWQ Wafer检测数据快速倡导与论述一键生成

现在，在芯片坐褥经过中，PWQ Wafer被世俗运用于工艺窗口阐发和系统性颓势分析等要津技艺。干系词，PWQ Wafer的检测戒指分析却主要依赖工程师东说念主工操作，不仅速率慢、成果低，而且戒指还有较大的个东说念主陶冶依存性。东方晶源PME居品的PWQ分析模块更始给与D2DB(Die-to-Database)期间，通过想象疆土与SEM图像的亚像素级匹配，兑现颓势精确定位和自动检出。现阶段PME居品的PWQ分析处理才调，相较于传统的PWQ分析景况，其分析速率培植跨越10倍以上。这一超卓性能使得PWQ分析戒指大约尽可能提前并快速地朝上游反映，有劲地加快了光罩、想象疆土以及OPC等要津技艺的迭代优化程度，匡助用户尽快兑现良率爬升。

    

后续，PME将与东方晶源的电子束检测设立、量测设立，缱绻光刻器具等进行深度集成，构建起一套好意思满的HPO一体化良率料理决议彩票游戏app平台，为国内晶圆厂客户提供更为全面、高效的期间撑捏，有用应付因先进工艺节点捏续鼓舞而带来的制造良率困难，为推动国内集成电路产业链兑现弯说念超车注入苍劲能源，助力产业在人人竞争景况中占据更为故意的地位。